昨年１１月２1〜２２日に第３回の薄膜基礎講座が総評会館で行われました。これはその時に集めたアンケート集計結果の一部です。

• １　あなた自身に関して
• １−１　年齢

• アンケートの項目	回答数
  ２２歳以下	０
  ２３〜３０歳	12
  ３１〜３５歳	13
  ３６〜４５歳	6
  ５０歳以上	0

• １−４　専門

• アンケートの項目	回答数
  物理・応用物理	7
  化学・応用化学	13
  電気・電子	3
  機械・その他　 (金属・半導体)	5

• １−５　興味の対象

• アンケートの項目	回答数
  材料一般	16
  金属	7
  セラミックス	6
  半導体	13
  有機材料	5
  生体材料	0
  その他の材料	4
  装置技術関連他	5

• ２　あなたの研究・開発分野はどれですか

• アンケートの項目	回答数	備　　考
  薄膜の作製	12	−−−−
  薄膜の評価	19	−−−−
  その他	6	光ディスクのマスタリング、表面分析、機構開発（薄膜の使用、薄膜の製法、評価法を含む特許事務、デバイス構造設計、薄膜評価装置の販売

• ７　今後「薄膜基礎講座」として取り組んで欲しいものがありましたら教えて下さい。（いくつでも）　　

• アンケートの項目	回答数
  １．基礎から応用まで段階的にシリーズで開催してほしい。	１
  ２．めっき関連を重点的に考えていただけるような講座を開いて欲しい。	4
  ３．磁気的性質もやってほしい。	5
  ４．ＬＳＩのビアフィーリング	9
  ５．評価装置についてもう少し多めに	10
  ６．誘電体薄膜の物性評価や、その理論など	6
  ７．スパッタ、ＣＶＤ、についてくわしい講座が欲しい（特に金属材料）	3
  ８．トライボロジー薄膜（ＤＬＣ，ＣｒＮ，ＢＮ，ＣＮ，ＴｉＮ、など）	2
  ９．薄膜作成技術の応用と実際、最新技術に関しての講座希望	2
  １０．ゲート酸化膜	8

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