日本真空協会関西支部&日本表面科学会関西支部合同セミナー2003

  ― 表面スーパークリーニングとその評価技術最前線 ―

主催 日本真空協会関西支部, 日本表面科学会関西支部 共催 応用物理学会 協賛 日本物理学会, 電子情報通信学会, 日本分析化学会, 日本質量分析学会, 日本放射光学会, 表面技術協会, 日本分光学会, 電気学会, 日本金属学会, 電気化学会, 日本材料科学会, 日本化学会, 軽金属学会, 触媒学会, 化学工学会, 日本顕微鏡学会, 日本トライポロジー学会, 日本真空工業会, 日本機械学会関西支部, 日本材料学会関西支部, 高分子学会, 石油学会, 日本油化学会, 粉体工学会, ゼオライト学会, 日本鉄鋼協会, 腐食防食協会, 低温工学協会, 日本セラミックス協会, 兵庫工業会, 新産業創造研究機構, ひょうご科学技術協会, 神戸大学機器分析センター  半導体デバイスの微細化は止まるところを知らず、既にナノの世界で回路を形成する時代に突入して います。このためには特にナノ以下の汚染制御・原子レベルの平坦化など表面制御技術と評価技術が重 要な課題となっています。本セミナーでは、ナノテクノロジーの根幹を支えるウルトラクリーンテクノ ロジーの全貌を理解することを目的として、基調講演にこの分野の第一人者である大見忠弘先生を迎え、 汚染制御技術・表面制御技術・分析評価技術のそれぞれの分野の第一線で活躍をされている方々に講演 を頂き、今後の展望へ向けた技術課題を議論頂くよう企画しました。これらの技術は、今後のナノテク ノロジー研究開発においても重要な役割を果たす技術と位置付けられます。多数の方々のご参加をお待 ちしております。また、講演会の後にはご希望の方に神戸大学機器分析センターを見学頂けるよう企画 しております。 日 時:2003年7月31日(木曜日) 13:00 〜 16:40 場 所:神戸大学瀧川記念学術交流会館      〒657-8501 神戸市灘区六甲台町1-1 参加費:無料 定 員:100名            講演プログラム 開会の挨拶         (日本真空協会関西支部支部長)尾浦憲治郎 13:00 〜 13:05 1.[基調講演] 新しい表面洗浄技術      (東北大学未来科学技術共同研究センター客員教授)大見忠弘  13:05 〜 13:55 2.減圧雰囲気下における有機物汚染対策            (東京エレクトロン技術開発センター)林 輝幸  13:55 〜 14:25 3.半導体表面における汚染の吸着・脱離挙動と次世代洗浄                (三菱化学半導体材料研究所)森永 均 14:25 〜 14:55     <休憩 14:55 〜 15:05> 4.定量型AFM位相イメージングによる表面粘弾性高分解マッピング                   (生体分子計測研究所)高見晴夫  15:05 〜 15:35 5.ICP-MS,GC/MS,TOF-SIMSによる表面微量汚染の評価技術                  (東レリサーチセンター)坂口晃一  15:35 〜 16:05 6.シリコンウエハ表面の原子レベル制御とその評価                     (広島大学大学院)高萩隆行  16:05 〜 16:35 閉会の挨拶        (日本表面科学会関西支部支部長)井上直久  16:35 〜 16:40 上記の時間には,質疑応答(5分)も含まれています. 見学会:神戸大学機器分析センター(17:00 〜) 申込先(問い合わせ先):〒657-8501 神戸市灘区六甲台町1-1     神戸大学工学部機械工学科 藤居義和     Tel&Fax: 078-803-6116 E-mail: fujiiyos@kobe-u.ac.jp 申し込み締切り: 平成15年7月28日(月) 申し込み方法:(下のフォーマット)、電子メール、FAX、または官製はがきに下記5項目を記入して        上記の申し込み先へお送りください。(できるだけ電子メールでお送りください。) (1)「2003合同セミナー申込み」 (2)氏名(ふりがな) (3)連絡先(勤務先または自宅住所(〒付記)、Tel、Fax、電子メール) (4)参加区分(日本真空協会会員、日本表面科学会会員、非会員の別) (5)神戸大学機器分析センター見学を希望される場合は、その旨記して下さい。 会場の案内:神戸大学瀧川記念学術交流会館 〒657-8501 神戸市灘区六甲台町1-1 電話 078-803-5583 アクセスマップ http://www.kobe-u.ac.jp/access/index-j.html          http://www.kobe-u.ac.jp/access/root_l.html  阪急電車「六甲」駅,JR西日本「六甲道」駅又は阪神電車「御影」駅から  市バス36系統「鶴甲団地」行に乗車「神大文理農学部前」下車。  新幹線「新神戸」駅からタクシーで約15分。 日本真空協会  http://wwwsoc.nii.ac.jp/vsj/ 日本表面科学会 http://www.sssj.org/ 本件担当:日本真空協会・日本表面科学会 両関西支部幹事 藤居義和
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