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　薄膜や多層膜材料はコンピュータに用いられるメモリーやハードディスクなどの記録媒体をはじめ光学製品等、我々が日常的に利用する製品の中に広く用いられています。製品の高密度化、高機能化にともない、薄膜・多層膜材料の極薄膜化が進んでおり、原子レベルでの構造制御が試みられています。薄膜構造は素子の特性に支配的な影響を与えるため、原子レベルでの構造制御を可能とする高精度構造評価技術が必要なのは言をまちません。
　今回の表面科学セミナーは薄膜基礎講座のアドバンスドコースとして位置づけ、研究開発や品質管理に用いられている主要な薄膜構造解析手法について、種々の材料への応用を例にして、得られる情報から適用可能範囲、更に分析上の留意点等詳細な解説を行います。薄膜・多層膜材料の研究開発に携わっている研究者・技術者の方々のみならず、各分析手法を利用されている方々にも有益な企画といたしましたので、皆様のご参加をお待ちしています。

月　　日	時　　間	講　　義　　題　　目	講　　　師	pdfダウンロード
10月10日（水）	9:30〜10:30	総論：計測・分析技術に求めるもの−半導体産業の視点から−	池野昌彦（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰ）
	10:30〜11:30	SIMSによる極浅注入不純物測定	富田充裕（東芝）
	11:40〜12:10	最新機器を用いた分析事例1	（神戸製鋼所）
	13:10〜14:10	HRBSによる半導体プロセスにおける極薄膜評価	中嶋　薫（京大）
	14:10〜15:10	AESを用いた薄膜構造評価	眞田則明（ｱﾙﾊﾞｯｸ・ﾌｧｲ）
	15:20〜16:20	XPSにいよる半導体プロセス・材料の評価	中村　誠（富士通研）
	16:20〜16:50	最新機器を用いた分析事例2	（ｻｰﾓﾌｨｯｼｬｰｻｲｴﾝﾃｨﾌｨｯｸ(株)）
	16:50〜17:50	陽電子ビームを用いた薄膜分析	鈴木良一（産総研）
10月11日（木）	9:30〜10:30	レーザ補助広角３次元アトムプローブによるナノ解析	室野和博（物材機構）
	10：30〜11:00	最新機器を用いた分析事例3	（日立ﾊｲﾃｸﾉﾛｼﾞｰ）
	11:10〜12:10	半導体プロセス評価を中心としたSEM計測技術	中山義則（日立中研）
	13:10〜14:10	X線反射率による半導体プロセスにおける薄膜測定	表　和彦（リガク）
	14:10〜14:40	最新機器を用いた分析事例4	（日本電子(株)）
	14:50〜15:50	分光エリプソメトリーによる半導体材料の構造解析	藤原裕之（産総研）
	15:50〜16:50	透過電子顕微鏡を用いた微細構造解析	木本浩司（物材機構）

pdfファイルにはパスワードがかけられています。参加登録者にはメールにてパスワードをお知らせいたします。

４．受講料

申　込　資　格	受　講　料
表面科学会正会員	25,000円
表面科学会維持会員	20,000円
表面科学会賛助会員	25,000円
表面科学会学生会員	5,000円
協賛学協会会員	35,000円
学生（非会員）	10,000円
その他	40,000円

(テキスト代，消費税を含む）

５．申込先　　〒113−0033 東京都文京区本郷2-40-13 本郷コーポレイション402
　　　　　　　　　日本表面科学会・第２８回表面科学セミナー係
　　　　　　　　　ＴＥＬ．03-3812-0266　　ＦＡＸ．03-3812-2897、E-mail：shomu@sssj.org

６．申込締切　　平成１９年９月２６日（水）

７．申込方法　　ホームページからお申し込み下さい。（お申し込みはここをクリック＊申込フォームへ＊）

　　　　　　　　　　　（尚、電子メール、FAXまたはハガキでのお申し込みも可能です。その場合、
　　　　　　　　　　　　以下の情報をご記入の上、事務局宛にお申し込み下さい。）
　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　（１）　　「第２８回表面科学セミナー申込」
　　　　　　　　（２）　　氏　　名（ふりがなをつけて下さい。）
　　　　　　　　（３）　　勤務先　　　　　所属
　　　　　　　　（４）　　勤務先所在地（〒付記）　TEL／FAX／Ｅ-mail
　　　　　　　　（５）　　自宅住所　　　（〒付記）　TEL／FAX／Ｅ-mail
　　　　　　　　（６）　　連絡先（自宅または勤務先のいずれかを指定）
　　　　　　　　（７）　　申込資格（上記の参加費表の区分、所属学会等を記入）

※お申込みに際しご記載頂きましたメールアドレスは、日本表面科学会が主催する本件以外のセミナー・講演会などのご案内にも使用させて頂く場合がございます。ご案内が不要な方はお手数ですがその旨お申出下さい。

８．払込方法

　(１)申込のハガキ、FAXまたはE-ﾒｰﾙが届き次第、振込用紙をお送りします。受講者１名につき必ず一枚の振込用紙をご使用下さい。
　(２)当日会場で振込用紙の半券またはそのコピーをご提示いただいた上で参加証をお渡ししますので大切に保管してご持参下さい。
　(３)勝手ながら受講料の払い戻しは行いません。ご都合の悪くなった場合には、代理の方の受講をお願いします。

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