日本表面真空学会 第12回関東支部セミナー

プラズマが誘起する界面反応と表面科学

 

主催:  公益社団法人 日本表面真空学会 関東支部

共催:  物質・材料研究機構 先端材料解析研究拠点、TIAかけはし

協賛:  応用物理学会

日時: 2020年1月21日(火曜日) 13:00-17:10

会場: 物質・材料研究機構千現地区 研究本館1階第2会議室(茨城県つくば市千現1-2-11) (アクセス

受講料(当日受付): 
  日本表面真空学会正会員:2000円
  日本表面真空学会学生会員・学生(非会員):無料
  その他:3000円
  (*)法人正会員・賛助会員・維持会員・協賛学協会会員は正会員扱い
  (**)受講料は、テキスト代と消費税を含みます

 

近年、プラズマが持つ高い反応性を化学プロセスに利用する、あるいは精密に制御する研究に注目が集まっています。プラズマ雰囲気が可能にする低温・低圧触媒反応や、半導体デバイス表面の原子層制御されたエッチング反応などがその例です。プラズマ中に含まれる活性種(励起分子、イオン等)が誘起する界面反応に関する知見は、プロセスの理解と制御に求められています。一方、これらの活性種は、高温高圧下での熱触媒反応においても重要な役割を担うため、表面科学的に素過程を調べる研究も進められています。本研究会では、触媒、原子層エッチング等へのプラズマ応用、活性種が誘起する表面反応に関する最近の研究を、第一線でご活躍の先生方にご紹介いただきます。

 

プログラム(講師敬称略)

9:30-

受付

 

13:00-13:10

開会挨拶および趣旨説明

13:10-13:45

「活性分子およびイオンビームを用いた原子層エッチング」

唐橋一浩

( 大阪大 )

13:45-14:20

「クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用」

豊田紀章

( 兵庫県立大 )

14:20-14:55

「振動励起CO2分子が誘起する表面反応」

近藤剛弘

( 筑波大 )

15:15-15:50

「超低電子温度プラズマにおける炭酸ガスの分解反応」

佐々木浩一

( 北海道大 )

15:50-16:25

「非平衡プラズマを利用した低温触媒反応:メタン改質への応用」

野崎智洋

( 東工大 )

16:25-17:00

「低温プラズマと触媒の相互作用の理解と新規反応プロセスの構築」

金賢夏

( AIST )

17:00-17:10

閉会挨拶


セミナーチラシはこちらからダウンロードしてください


申込締切:2020年1月20日(月)


申込方法:ここをクリック して、お申込み下さい

※参加希望者数が50名に達した段階で、申込みを締め切らせて頂きます。


問い合わせ先:

倉橋光紀(物質・材料研究機構)

Email: kurahashi.mitsunori@nims.go.jp