近年、新しいプロセスプラズマが開発され、このプラズマを利用して、従来技術では不可能だった機能性表面改質プロセスが実用化されつつあります。これらの新しいプロセスによる表面反応は、ほとんど解明されておらず、表面科学の未開拓領域として非常に興味深い。本セミナーにおいては、新しいプロセスプラズマの現状と、そのプラズマを利用したプロセスによって、どのような反応が誘起されるのかを、プロセスプラズマの研究者とプロセスの研究者に解説していただき、表面科学の新しい分野を開拓する契機としたいと考えております。多くの方々にご参加・ご討論いただきますようお願い申し上げます。

開催日時：　平成１３年７月１３日（金）１３時〜１７時

プログラム：

月　日	時　間	講演テーマ	講師氏名（所属）
平成１３年 ７月１３日 （金）	13：00〜13：10	開会の挨拶	平賀　隆（産業技術総合研究所光技術研究部門）
	13:10-13:50	「波動励起による反応性高密度プラズマ生成とスパッタ成膜への応用」	節原裕一（大阪大学接合科学研究所）
	13:50-14:30	「インバーター電源を用いたプラズマ生成とその応用」	杉本敏司（大阪大学工学研究科）
	14:30-15:10	「三次元プラズマイオン注入の現状」	行村　建（同志社大学工学部）
	15:10〜15:30
	15:30-16:10	「励起粒子を利用した薄膜作製」	岡本昭夫（大阪府立産業技術総合研究所）
	16:10-16:50	「PSII法による立体物へのイオン注入とDLC膜作製」	馬場恒明（長崎県工業技術センター）

参加定員：　 100名（定員に達し次第締め切ります。）

参 加 費：　 当日会場にてお支払い下さい。

会　員　種　別	参加費	資　料　代
日本表面科学会・正会員・賛助会員・維持会員	２，０００円	参加費に含まれる
協賛学協会会員	３，０００円	参加費に含まれる
学　　生	無　料	１，０００円
その他	４，０００円	参加費に含まれる

会場：独立行政法人産業技術総合研究所関西センター、融合棟多目的ホール
（〒563-8577大阪府池田市緑丘1-8-31、旧大阪工業技術研究所）
http://www.o.aist.go.jp/map_j.html

問い合わせ先：
木内　正人
独立行政法人産業技術総合研究所 光技術研究部門

電話：0727-51-9535
fax：0727-51-9631
e-mail: dd160@onri.go.jp


申し込み締め切りはありませんが、準備の都合上、できるだけ参加のご予約を下記の通り、お知らせください。

参加予約方法：
電子メール、はがき、faxのいずれかにより、下記４項目を記載して上記の問い合わせ先までお知らせください。
（１）「関西支部セミナー」
（２）氏名（ふりがな）
（３）連絡先（勤務先または自宅住所、電話、fax、電子メール）
（４）参加区分（日本表面科学会会員、協賛学会員、非会員、学生）

• （１）関西支部セミナー申し込み」
• （２） 氏　名（ふりがな）　 　　　
• （３） 勤務先　所属 　　　　　　
• （４） 勤務先所在地（〒付記）
• （５）　TEL/FAX　　　　　　　　
• （６）あなたのE-mailアドレス
• （７） 申込資格（上記の参加費表の区分、所属学協会名を記入）

• 必要事項を書き込みましたら送信ボタンをクリックして下さい。受信の画面が出れば受付完了です。

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